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洁净烘箱|拓途百科


点击次数:1550 来源网站: 更新时间:2023-05-19
  洁净烘箱在竞争中打破格局
  近年来,随着全球半导体市场的不断扩大和产品多样化需求的增加,要求半导体芯片的生产工艺更为精细、严格。在这个背景下,洁净烘箱这种先进的生产设备逐渐受到人们的关注和青睐。
  洁净烘箱是一种用于进行半导体生产中重要步骤的设备,其主要作用是对芯片进行加热和干燥,以去除其中的水分和杂质。同时还可以控制温度、湿度等参数,确保半导体生产过程中的稳定性和可靠性。
 
  洁净烘箱输出信号控制PLC整个程序的运行,铂电阻PT100测试信号至报警温控仪与超温报警设置温度值进行比较,当实际温度值低于设定值时,输出控制信号给PLC,PLC程序正常运行。
  实际温度值超过设定值时,输出控制信号给PLC,PLC关闭运行程序。故超温报警的设置值一般要高于工作温度的设定值。闭合空气开关,按照该烘箱的操作说明书设置好加热温度250℃,超温报警温度260℃,保温计时1h后,启动其自动运行程序,洁净烘箱的循环风机、进风机、碟阀、加热等指示灯按顺序亮起,表明程序运行正常。加热运行2.5h后,烘箱温度仍然达不到设定值,如果加热时间过长,就会造成被加热玻璃容器易碎,坏瓶率升高。
  同时,造成能源浪费,耗电量增加以及烘箱的工作周期加长,致使在正常生产岗位的两班制下不能按时完成该工艺环节,殆误生产任务的进程计划,且提高了生产成本。正常满箱时温度从室温一直加热到250℃需要2.5h,1个工作周期需要约6h。首先查看洁净烘箱差压表,判断烘箱内风速是否正常,了解洁净烘箱内被加热物品摆放是否过于密集,高温高效过滤器是否堵塞,风量调节板是否被改动,排除这些原因后,再判断设备是否存在故障,造成热风循环空气流通不好,湿热空气不能正常排放。
  其次从故障现象和烘箱的电路原理分析,烘箱能够加热,说明智能电脑温控仪输出信号正常,PLC输入输出信号也正常。经过上述故障分析,可以断定控制信号和可调节部件均正常,然后我们从以下几个方面进行检查。首先核对一下洁净烘箱的PID调节参数,看是否人为误操作,致使设置参数变更,从而使得系统出现动作异常。PID参数直接影响着系统的调节精度,是控制系统设计的核心内容。烘箱通过适当的PID参数,PID控制可以根据系统被控过程的误差特性,利用比例、积分、微分计算出系统控制量,得到相应的输出响应特性,控制系统使其达到满意的控制效果。恢复PID参数正常设置值。
  在传统的烘箱中,由于无法控制环境中的微小颗粒和气体成分,可能会给半导体芯片带来质量问题。而洁净烘箱则采用了严格的过滤和净化系统,能够有效地控制周围环境中的各种污染物,从而保证芯片的质量和可靠性。
  目前,洁净烘箱已广泛应用于半导体制造、电子元器件生产等高精度行业,成为了提高产品质量和生产效率的关键设备之一。在半导体领域,各大厂商已经开始使用洁净烘箱进行芯片生产,并不断改进其技术和性能。
洁净烘箱
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